[实用新型]多晶硅铸锭炉的热场结构有效
申请号: | 200720113618.4 | 申请日: | 2007-08-23 |
公开(公告)号: | CN201081543Y | 公开(公告)日: | 2008-07-02 |
发明(设计)人: | 卫国军;徐芳华;孙海梁;高杰 | 申请(专利权)人: | 浙江精工科技股份有限公司绍兴县精工机电研究所有限公司 |
主分类号: | F27B14/14 | 分类号: | F27B14/14 |
代理公司: | 浙江翔隆专利事务所 | 代理人: | 戴晓翔 |
地址: | 312030浙江省绍兴县*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种多晶硅铸锭炉的热场结构,属多晶硅铸锭炉热场结构的设计与制造技术领域,主要由炉体(1),置于炉体(1)内带吊杆(12)的保温隔热笼体(2),置于保温隔热笼体(2)上部的保温隔热顶板(6),下部带支柱(4)的保温隔热底板(5),置于保温隔热笼体(2)内固定于保温隔热顶板(6)上的加热器(7),固定于支柱(4)顶部带坩埚(13)的热交换台(3),置于加热器(7)和热交换台(3)之间的保温隔热环条(9)等构成。由保温隔热笼体与保温隔热底板、保温隔热顶板构成一个封闭的热场腔室,并由保温隔热环条将热场腔室分成上下两部分,不仅能生产出高品质硅锭,也缩短了整个工艺时间,降低了结晶过程中的能耗。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 结构 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅铸锭炉的热场结构,包括炉体(1),其特征在于炉体(1)内设有带吊杆(12)的保温隔热笼体(2),保温隔热笼体(2)的上部设有保温隔热顶板(6),下部设有带支柱(4)的保温隔热底板(5),保温隔热笼体(2)内设有固定于保温隔热顶板(6)上的加热器(7),固定于支柱(4)顶部带坩埚(13)的热交换台(3),加热器(7)和热交换台(3)之间设有保温隔热环条(9),支柱(4)的底部固定于炉体(1)的底部。
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