[实用新型]一种合金烘烤装置的排风管路有效
| 申请号： | 200720072681.8 | 申请日： | 2007-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN201106985Y | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 武颖;赵亮 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种合金烘烤装置的排风管路，用以连接主排风管及所述合金烘烤装置；所述排风管路的横截面中心点所成之线由首尾相连的至少一线段、或至少一弧线、或线段与弧线组成；所述相邻的两条线段、或相邻的两条弧线、或相邻的线段和弧线的接触部分所成的角呈钝角。本实用新型由于制作材料选择软质管路，气流在碰撞管路内壁后反弹的弹力较硬质管路时有较大幅度减少；同时，在气流转弯时采用弧形管路，避免了高压气流直接90度转弯，因而可以避免报警的发生，使烘烤工作继续进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 烘烤 装置 风管 | ||
【主权项】：
1. 一种合金烘烤装置的排风管路，用以连接主排风管及所述合金烘烤装置；其特征在于：所述排风管路的横截面中心点所成之线由首尾相连的至少一线段、或至少一弧线、或线段与弧线组成；所述线段或弧线中，相邻的两条线段、或相邻的两条弧线、或相邻的线段和弧线的接触部分所成的角呈钝角。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200720072681.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
