[发明专利]基于平板波导移动制作无热阵列波导光栅方法及精调装置

摘要

一种基于平板波导移动制作无热阵列波导光栅方法及精调装置。其方法：使AWG芯片和输入光纤阵列、输出光纤阵列可靠地耦合对准；沿切割线将AWG芯片切割成可移动部分和固定部分；再将固定部分粘接在基板上面；然后将可移动部分放在基板上，使两部分的切割面紧密耦合；沿AWG芯片的两部分的连接线上将温度补偿杆的一侧边与可移动部分固定粘接在一起；利用精调装置对温度补偿杆的位置进行调整，使无热阵列波导光栅输出波长满足ITU－T规定，使无热阵列波导光栅输出光谱同AWG芯片相同后，将温度补偿杆的另一侧边与固定部分固定粘接在一起。其精调装置，为固定粘接有AWG芯片的基板和调节温度补偿杆在基板上的位置的结构。本发明简单易行，大大简化制作无热阵列波导光栅的工艺。

主权项

1.一种基于平板波导移动技术制作无热阵列波导光栅的方法，其特征在于：包括有如下步骤：1)在具有输入和输出平板波导的阵列波导光栅芯片上，将输入、输出光纤阵列同阵列波导光栅芯片进行对准，使阵列波导光栅芯片和输入光纤阵列、输出光纤阵列能够稳定可靠地耦合对准起来；2)沿切割线(C)将阵列波导光栅芯片切割成可移动部分(a)和固定部分(b)；3)将阵列波导光栅芯片的固定部分(b)粘接在具有凹槽(14)的基板(8)上面；4)将阵列波导光栅芯片的可移动部分(a)放在基板(8)上并位于AWG芯片的固定部分(b)的一侧，使可移动部分(a)与固定部分(b)的切割面相对应，然后向AWG芯片的固定部分(b)推动AWG芯片的可移动部分(a)，并使AWG芯片的可移动部分(a)、固定部分(b)的切割面紧密耦合；5)沿阵列波导光栅芯片的可移动部分(a)与固定部分(b)的连接线上设置温度补偿杆(6)并将温度补偿杆(6)的一侧边与可移动部分(a)固定粘接在一起；6)利用精调装置对温度补偿杆(6)的位置进行调整，使无热阵列波导光栅输出波长满足ITU-T规定，使无热阵列波导光栅输出光谱同阵列波导光栅芯片相同；7)将温度补偿杆(6)的另一侧边与固定部分(b)固定粘接在一起。