[发明专利]TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置及其蚀刻方法有效
| 申请号： | 200710080314.7 | 申请日： | 2007-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN101255012A | 公开（公告）日： | 2008-09-03 |
| 发明（设计）人： | 王泊可 | 申请（专利权）人： | 睿明科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;H01L21/311 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理事务所 | 代理人： | 刘祖芬 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置及其蚀刻方法，该装置包含两个承载匣、两个蚀刻清洗槽、清洗槽及干燥槽；其方法于一承载匣中放置多个TFT LCD玻璃基板于蚀刻清洗槽进行蚀刻及初步清洗；之后将承载匣移入清洗槽中进行二次清洗，并同时于另一承载匣中放置多个TFT LCD玻璃基板放置于另一蚀刻清洗槽进行蚀刻及初步清洗；将清洗后承载匣中的TFT LCD玻璃基板放置于干燥槽中进行烘干，并同时使另一承载匣移入清洗槽中进行多个TFT LCD玻璃基板的二次清洗；再将清洗后另一承载匣中的多个TFT LCD玻璃基板于干燥槽中进行烘干；这样就可以于一次制程中同时完成两个承载匣的多个TFT LCD玻璃基板的蚀刻，达到缩短蚀刻时间及简化蚀刻过程的效果。 | ||
| 搜索关键词： | tft lcd 玻璃 蚀刻 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置，其特征在于，其包括有：至少两个承载匣，各承载系可供承载欲蚀刻的TFT LCD玻璃基板；至少两个蚀刻清洗槽，各蚀刻清洗槽可供容置上述承载TFT LCD玻璃基板的承载匣，且各蚀刻清洗槽分别连接一液体供应单元、一气体供应单元及一药剂供应单元；一清洗槽，该清洗槽可供容置上述承载TFT LCD玻璃基板的承载匣，且该清洗槽分别与上述液体供应单元及气体供应单元连接；以及一干燥槽，该干燥槽可供容置上述承载TFT LCD玻璃基板的承载匣，该干燥槽与上述气体供应单元连接。
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