[发明专利]方向转换装置

摘要

本发明提供一种可以缩短搬运时间的方向转换装置。该方向转换装置，包括：用于搬运FOUP(5)的直线形的第一及第二搬运路径(3、4)，具有相同长度，其中任意一方与第一搬运导轨(16)高度相同，另一方配置在所述一方的下方，并且相互垂直，两条搬运路径的中心位于同一垂直线上；旋转工作台(2)及旋转部(22)，使第一及第二搬运路径(3、4)同时以中点为中心进行旋转；升降部(23)，使第一及第二搬运路径(3、4)沿着垂直方向移动；和控制部(21)，其如下进行控制：当将FOUP(5)从第一搬运导轨(16)排出到与第一搬运导轨(16)高度相同的搬运路径上时，使第一及第二搬运路径(3、4)大约旋转90度，将FOUP(5)搬出到搬运路径外之后，调换第一及第二搬运路径(3、4)在垂直方向上的位置。

主权项

1.一种方向转换装置，用于对从搬运导轨搬出的工件的搬运方向进行转换，其特征在于，具有：直线形的第一及第二搬运路径，其被配置为彼此以直角相交，且其中点位于同一垂直线上；旋转单元，其使所述第一及第二搬运路径围绕所述中点进行旋转；沿垂直方向使所述第一及第二搬运路径升降的升降单元；以及控制单元，其中，所述第一及第二搬运路径中的一个的垂直位置被控制成与所述搬运导轨的垂直位置相同，并且所述第一及第二搬运路径中的另一个的垂直位置被控制成低于所述第一及第二搬运路径中的一个的垂直位置，并且所述控制单元进行如下控制：从所述搬运导轨将所述工件搬至所述第一及第二搬运路径中的一个，该搬运路径的垂直位置与所述搬运导轨的垂直位置相同，使所述第一及第二搬运路径大约旋转90度，将所述工件从所述第一及第二搬运路径中的一个搬出，并且相互调换所述第一及第二搬运路径的垂直位置。