[发明专利]加速度传感器的结构及其制造方法无效
| 申请号： | 200710078943.6 | 申请日： | 2007-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN101037184A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 野村昭彦 | 申请（专利权）人： | 冲电气工业株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C5/00;G01P15/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 具有阻挡器结构的加速度传感器及其制造方法，尤其是通过微细加工工艺制造的具有阻挡器结构的加速度传感器，其可以消除锤与阻挡器粘接的问题。本发明提供具有下述特征的加速度传感器，具有：第1基板，所述第1基板具有锤固定部，离开该锤固定部并围绕该锤固定部的台座固定部，可以挠曲地连接该锤固定部与该台座固定部的支撑梁，离开该锤固定部和该支撑梁但与该台座固定部相连的阻挡器；通过第1连接层连接在上述锤固定部上，与上述阻挡器分离但与其重叠的锤部；与上述锤部分离，通过第2连接层连接在上述台座固定部上的台座部；与上述阻挡器分离，形成在该阻挡器与上述锤部之间的该锤部上的凸起部。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种加速度传感器，其特征在于，具有：第1基板，所述第1基板具有锤固定部、离开该锤固定部并围绕该锤固定部的台座固定部、可以挠曲地连接该锤固定部与该台座固定部的支撑梁，和离开该锤固定部和该支撑梁并与该台座固定部相连的阻挡器；通过第1连接层连接在上述锤固定部上并与上述阻挡器分离地重叠的锤部；与上述锤部分离，通过第2连接层连接在上述台座固定部上的台座部；以及与上述阻挡器分离，形成在该阻挡器与上述锤部之间的该锤部上的凸起部。
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