[发明专利]多晶硅铸锭炉的热场结构有效
| 申请号： | 200710070539.4 | 申请日： | 2007-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN101109602A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 卫国军;徐芳华;孙海梁;高杰 | 申请（专利权）人： | 浙江精工科技股份有限公司;绍兴县精工机电研究所有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/14 | 分类号： | F27B14/14 |
| 代理公司： | 浙江翔隆专利事务所 | 代理人： | 戴晓翔 |
| 地址： | 312030浙江省绍兴县*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种多晶硅铸锭炉的热场结构，属多晶硅铸锭炉热场结构的设计与制造技术领域，主要由炉体(1)，置于炉体(1)内带吊杆(12)的保温隔热笼体(2)，置于保温隔热笼体(2)上部的保温隔热顶板(6)，下部带支柱(4)的保温隔热底板(5)，置于保温隔热笼体(2)内固定于保温隔热顶板(6)上的加热器(7)，固定于支柱(4)顶部带坩埚(13)的热交换台(3)，置于加热器(7)和热交换台(3)之间的保温隔热环条(9)等构成。由保温隔热笼体与保温隔热底板、保温隔热顶板构成一个封闭的热场腔室，并由保温隔热环条将热场腔室分成上下两部分，不仅能生产出高品质硅锭，也缩短了整个工艺时间，降低了结晶过程中的能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 结构 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅铸锭炉的热场结构，包括炉体(1)，其特征在于炉体(1)内设有带吊杆(12)的保温隔热笼体(2)，保温隔热笼体(2)的上部设有保温隔热顶板(6)，下部设有带支柱(4)的保温隔热底板(5)，保温隔热笼体(2)内设有固定于保温隔热顶板(6)上的加热器(7)，固定于支柱(4)顶部带坩埚(13)的热交换台(3)，加热器(7)和热交换台(3)之间设有保温隔热环条(9)，支柱(4)的底部固定于炉体(1)的底部。
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