[发明专利]一种基于微桥谐振器的红外探测器结构及制作方法无效
| 申请号： | 200710069043.5 | 申请日： | 2007-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN101063630A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 韩建强;卢少勇 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;G01J5/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微机械桥型谐振器的红外探测器结构及制作方法。该红外探测器由通过真空密封技术或气密封装技术封装在一起的桥谐振器芯片(1)和盖板(2)组成。入射红外线通过红外线透射窗口(7)入射在微机械桥(3)表面，引起微机械桥(3)温度升高，轴向应力增加，谐振频率下降，通过测量微机械桥(3)的谐振频率的变化可反映出入射红外线的强弱。本发明所涉及的基于微机械桥型谐振器的非制冷红外探测器具有以下优点：输出量为谐振频率，不受电路噪声的影响，测温精度及分辨率很高，具有极高的探测率和响应率，制作工艺与IC制作工艺完全兼容，易于实现阵列化和系统集成，大批量生产成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 谐振器 红外探测器 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于微桥谐振器的红外探测器，其特征在于：红外探测器由桥(双端固支梁)谐振器芯片(1)和盖板(2)组成。
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