[发明专利]一种精确控制悬空纳米管器件方向的方法有效
| 申请号： | 200710060332.9 | 申请日： | 2007-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101241062A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 房丰洲;徐宗伟;张少婧;韩涛;李建明 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16;G12B21/08 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 江镇华 |
| 地址： | 300072天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种精确控制悬空纳米管器件方向的方法，采用带有能够调整样品台倾斜角的聚焦离子束设备，包括下列步骤：将需要调整角度的悬空纳米管器件置于聚焦离子束设备样品台上；通过电子束或离子束成像系统对纳米管器件进行形貌观测，调整离子束工作距离；通过调整样品台的倾斜角改变纳米管器件相对离子束的角度；开启聚焦离子束发生器，对纳米管器件进行离子束扫描照射，纳米管会产生塑性形变，被弯曲并逐渐沿着离子束方向被校直；停止离子束照射。本发明提出的方法稳定可靠，对纳米管器件可多次重复校正，纳米管器件的角度经校正后不存在随时间而变化的不稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精确 控制 悬空 纳米 器件 方向 方法 | ||
【主权项】：
1.一种精确控制悬空纳米管器件方向的方法，采用带有能够调整样品台倾斜角的聚焦离子束设备，其特征在于，包括下列步骤：(1)将需要调整角度的悬空纳米管器件置于聚焦离子束设备样品台上；(2)通过电子束或离子束成像系统对纳米管器件进行形貌观测，调整离子束工作距离；(3)通过调整样品台的倾斜角改变纳米管器件相对离子束的角度；(4)开启聚焦离子束发生器，对纳米管器件进行离子束扫描照射，纳米管会产生塑性形变，被弯曲并逐渐沿着离子束方向被校直；(5)停止离子束照射。
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