[发明专利]自动化跨厂传输系统无效
| 申请号： | 200710004766.7 | 申请日： | 2007-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN101236419A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 张仁俊;戴淑萍 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G05B19/04;H01L21/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 蒲迈文;黄小临 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种自动化跨厂传输系统，包含跨厂服务器及桥接仓储模块。上述跨厂服务器用以在第一半导体厂的第一物料控制系统(MCS)响应一传输命令之前，从第一半导体厂的一制造执行系统(MES)接收上述传输命令。上述传输命令请求传送晶片传送盒至一目的地。上述桥接仓储模块设置在第一半导体厂及一第二半导体厂之间，并由第一物料控制系统控制，以传送上述晶片传送盒从上述第一及第二半导体厂其中一个至另一个。上述跨厂服务器根据上述传输命令中上述晶片传送盒的上述目的地以决定是否通过上述桥接仓储模块将上述晶片传送盒传送至上述第二半导体厂的设备。 | ||
| 搜索关键词： | 自动化 传输 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种自动化跨厂传输系统，包含：一跨厂服务器，用以在一第一半导体厂的一第一物料控制系统响应一第一传输命令之前，从上述第一半导体厂的一制造执行系统接收上述第一传输命令，而上述第一传输命令请求传送一第一晶片传送盒至一目的地；以及一桥接仓储模块，设置在上述第一半导体厂及上述第二半导体厂之间，并由上述第一物料控制系统控制，以传送上述第一晶片传送盒从上述第一及第二半导体厂其中一个至另一个；其中，上述跨厂服务器判别上述第一传输命令是否指示将上述第一晶片传送盒从上述第一半导体厂传送至上述第二半导体厂，如否，将上述第一传输命令传送至上述第一物料控制系统，如是，将上述第一传输命令传送至上述第二半导体厂，并将上述第一传输命令修改为第二传输命令后传送至上述第一物料控制系统，其中第二传输命令中上述第一晶片传送盒的目的地修改为上述桥接仓储模块，上述第一物料控制系统根据上述第二传输命令以使上述第一晶片传送盒被传输至上述桥接仓储模块。
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