[发明专利]微抓举式致动器结构无效
| 申请号： | 200710003170.5 | 申请日： | 2007-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN101252324A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 洪银树;黄义佑;李彦其;林君颖 | 申请（专利权）人： | 建凖电机工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H02N1/00 | 分类号： | H02N1/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王燕秋 |
| 地址： | 台湾省高雄市苓*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微抓举式致动器结构，其包含一致动平板，致动平板通过支承梁与主结构层连接，支承梁与主结构层的连接处具有导角，致动平板尾端设有一个以上的蚀刻孔。本发明可加速致动平板微结构的释放，有效降低致动平板前端所累积的残留电荷，以延长其生命周期并降低驱动电压。而且本发明在多晶硅支撑梁与致动平板连接处加入特殊导角设计，可增加支撑梁的弯曲刚性，进一步有效提升微抓举式致动器元件制造合格率，并减少其致动期间因结构断裂而发生故障的机率。 | ||
| 搜索关键词： | 抓举 式致动器 结构 | ||
【主权项】：
1. 一种微抓举式致动器结构，其包含一致动平板，所述致动平板通过支承梁与主结构层连接，其特征在于：所述支承梁与所述主结构层的连接处具有导角，所述致动平板尾端设有一个以上的蚀刻孔。
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