[发明专利]含氟聚合物、负型感光性组合物及间隔壁无效

专利信息
申请号: 200680047273.5 申请日: 2006-12-14
公开(公告)号: CN101331157A 公开(公告)日: 2008-12-24
发明(设计)人: 高桥秀幸;石関健二 申请(专利权)人: 旭硝子株式会社
主分类号: C08F8/00 分类号: C08F8/00;C08F220/22;C08F290/12;G02B5/20;G03F7/027;G03F7/038;H01L21/027;H05B33/12;H05B33/22
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 刘多益
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供即使以低曝光量也能够形成间隔壁上的墨的残渣少、膜厚均一性高的墨层的含氟聚合物及负型感光性组合物。该含氟聚合物是2种以上的具有乙烯性双键的单体的共聚物,具备含有至少1个氢原子被氟原子取代了的碳数20以下的烷基的侧链和在1条侧链具有2个以上的乙烯性双键的侧链;所述烷基可在碳原子间具有醚性氧原子。负型感光性组合物含有该含氟聚合物。
搜索关键词: 聚合物 感光性 组合 间隔
【主权项】:
1.含氟聚合物,它是2种以上的具有乙烯性双键的单体的共聚物,其特征在于,具备含有至少1个氢原子被氟原子取代了的碳数20以下的烷基的侧链和在1条侧链具有2个以上的乙烯性双键的侧链,所述烷基可在碳原子间具有醚性氧原子。
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