[发明专利]柱形相变存储单元无效
| 申请号： | 200680003812.5 | 申请日： | 2006-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN101116194A | 公开（公告）日： | 2008-01-30 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·哈普 | 申请（专利权）人： | 奇梦达股份公司 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;H01L27/24;G11C16/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种相变存储单元器件和方法，该器件包括存储单元、选择器件、接触部和亚光刻柱体。接触部与选择器件耦合。相变柱体与接触部耦合。亚光刻柱体与接触部耦合。亚光刻柱体被绝缘材料包裹，从而限定了亚光刻柱体的亚光刻侧向尺寸。在亚光刻柱体和接触部之间还有亚光刻接触部。 | ||
| 搜索关键词： | 形相 存储 单元 | ||
【主权项】：
1.一种相变存储单元器件，包括：选择器件；与所述选择器件耦合的接触部；以及与所述接触部耦合的蚀刻后的亚光刻柱体，其中，所述亚光刻柱体被绝缘材料包裹，从而限定了所述亚光刻柱体的亚光刻侧向尺寸并且使得所述亚光刻柱体和所述接触部之间存在亚光刻接触部。
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