[实用新型]金属波纹管氦质谱检漏辅助平台无效
| 申请号： | 200620168699.3 | 申请日： | 2006-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN200996885Y | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 刘继文;丰艳春;刘谦 | 申请（专利权）人： | 沈阳仪表科学研究院 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 沈阳科威专利代理有限责任公司 | 代理人： | 崔红梅 |
| 地址： | 110043辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 金属波纹管氦质谱检漏辅助平台装置，包括氦质谱检漏仪、真空预抽系统、真空管系、多工位操作台，其特征在于工作台上有多个并列的凸台，凸台内有凹腔和中心孔，固定波纹管的拉压杆位于工作台的中心孔，拉压杆中心孔有径向气孔，下部径向气孔与均有压力表和电磁阀的真空管路及检漏仪管路连通，拉压杆下端由销与气缸活塞连接。本设计适合中小型精密波纹管的漏率检测，通过独立于氦质谱检漏仪的真空预抽系统和电磁阀门控制可实现预抽与检测同时进行。既保护了氦质谱检漏仪等高精密设备，又提高了效率。操作方便，密封可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 波纹管 氦质谱 检漏 辅助 平台 | ||
【主权项】：
1、金属波纹管氦质谱检漏辅助平台装置，包括氦质谱检漏仪、真空预抽系统、真空管系、多工位操作台，其特征在于工作台上有多个并列的凸台，凸台内有凹腔和中心孔，固定波纹管的拉压杆位于工作台的中心孔，拉压杆中心孔有径向气孔，下部径向气孔与均有压力表和电磁阀的真空管路及检漏仪管路连通，拉压杆下端由销与气缸活塞连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳仪表科学研究院，未经沈阳仪表科学研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200620168699.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
