[实用新型]超薄玻璃基板激光切割机

摘要

本实用新型公开了一种超薄玻璃基板激光切割机，包括：机体、激光器，特点是，它还包括光束整形和伺服调焦系统、龙门式两维气浮高速平台、玻璃预切装置、冷却气体喷嘴、气瓶、90°气浮转台、负压吸附平台；激光器与光束整形和伺服调焦系统相连接，置于龙门式两维气浮高速平台的X轴运动平台装置上；玻璃预切装置位于光束整形和伺服调焦系统前方；冷却气体喷嘴通过气路与气瓶连接位于光束整形和伺服调焦系统后方；90°气浮转台装载于两维气浮高速平台的Y轴运动平台装置上，负压吸附平台固定在90°气浮转台上。本实用新型可大幅度提高玻璃基板的成品率，可在液晶显示产业和玻璃加工行业中获得广泛的应用。

主权项

1.一种超薄玻璃基板激光切割机，包括：机体(1)；激光器(2)；其特征在于，它还包括光束整形和伺服调焦系统(3)、由X轴运动平台装置(4)、Y轴运动平台装置(9)组成的龙门式两维气浮高速平台、玻璃预切装置(5)、冷却气体喷嘴(6)、气瓶(7)、90°气浮转台(8)、负压吸附平台(10)；，激光器(2)与光束整形和伺服调焦系统(3)相连接，装载于龙门式两维气浮高速平台的X轴运动平台装置(4)上；玻璃预切装置(5)位于光束整形和伺服调焦系统(3)前方；冷却气体喷嘴(6)通过气路与气瓶(7)连接位于光束整形和伺服调焦系统(3)后方；90°气浮转台(8)装载于两维气浮高速平台的Y轴运动平台装置(9)上，负压吸附平台(10)固定在90°气浮转台(8)上。