[发明专利]基板支架及其固定构件有效
| 申请号： | 200610169309.9 | 申请日： | 2006-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN1962188A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 魏仲立;林育民;周安正;杜志谦 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/24 | 分类号： | B24B7/24;B24B29/02 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨装置及其基板支架和固定构件。该基板支架应用于研磨装置上，其包括定盘及由研磨垫与制止件所形成的固定构件。研磨垫设置于定盘的表面上，其具有多个开孔，且这些开孔的位置对应于基板的尺寸。制止件则穿过研磨垫上的开孔而设置于定盘的表面上，并且这些制止件突出于研磨垫，从而在制止件之间形成一容置区域以设置基板。根据本发明，在制造过程中需要进行换线时，只需改变制止件的设置位置即可进行不同尺寸的基板的研磨，这有效地降低了制造过程的时间及成本。 | ||
| 搜索关键词： | 支架 及其 固定 构件 | ||
【主权项】：
1、一种固定构件，用以吸附基板，包括：研磨垫，其具有多个第一开孔，其中所述第一开孔的位置对应于该基板的尺寸；及多个制止件，其分别设置于所述第一开孔中，其中所述制止件突出于该研磨垫，且在所述制止件之间形成一容置区域以设置该基板。
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