[发明专利]一种6nm－100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测试装置

摘要

本发明属于短波段成像光学领域，具体的说是一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置。在本发明中设计了如图所表示的检测装置，整个光学系统均处于真空条件下，极紫外光源1发出极紫外光束经过精密刻画的金属栅网7后，打到反射镜3和4，最后经过待测极紫外成像光学系统5在极紫外相机6上成像，金属栅网的网格尺度与所成的像进行比较，经过计算即可得到待测光学系统的分辨率数据。本发明的有益效果为：提供了一种结构简单、性能可靠能够对极紫外成像光学仪器成像质量进行测试的装置。

主权项

1.一种6nm-100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测试装置，光源(1)产生的平行光通过鉴别率板(2)后经反射镜(3)和(4)，最后经过待检成像系统(5)在探测器(6)上成像，根据所成影像中鉴别率板的线对的清晰程度，经过计算既可得到待检成像光学系统的分辨率数据，其特征是：所述鉴别率板(2)是精密刻画的金属栅网(7)。