[发明专利]等离子导引机构及应用该导引机构的等离子放电装置无效
申请号: | 200610149604.8 | 申请日: | 2006-10-10 |
公开(公告)号: | CN101163370A | 公开(公告)日: | 2008-04-16 |
发明(设计)人: | 洪昭南;徐逸明;梁国超;王俊尧;李志勇;王亮钧;陈俊钦;陈彦政 | 申请(专利权)人: | 馗鼎奈米科技股份有限公司 |
主分类号: | H05H1/34 | 分类号: | H05H1/34 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国;梁挥 |
地址: | 中国台湾台南县永康市亚*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种等离子导引机构及应用该导引机构的等离子放电装置,该等离子导引机构包括:套接于等离子放电装置上的壳体,借以与等离子放电装置定义出第一腔室第二腔室,其中等离子放电装置通过电弧放电在第一腔室内生等离子,第一腔室与第二腔室联通,且第二腔室的侧壁具有长形窄孔,用来导引等离子由长形窄孔喷出该壳体外部。因此,本发明所提供的等离子导引机构确实具有提高等离子放电装置的等离子喷射面积、延长使用寿命以及提供多样等离子喷射角度的优点。 | ||
搜索关键词: | 等离子 导引 机构 应用 放电 装置 | ||
【主权项】:
1.一种等离子导引机构,其特征在于,包括:一壳体,套接于一等离子放电装置上,借以与该等离子放电装置定义出一第一腔室及一第二腔室,其中该等离子放电装置通过电弧放电在该第一腔室内生一等离子,该第一腔室与该第二腔室联通,且该第二腔室的侧壁具有一长形窄孔,用来容纳并导引该等离子由该长形窄孔喷出该壳体外部。
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