[发明专利]抛光液传输设备有效
| 申请号： | 200610148816.4 | 申请日： | 2006-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101209542A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 陈肖科 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;F17D1/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光液传输设备，包括：抛光液配液装置，用于配制抛光液通过第一传输管道输出并接收第二传输管道输回的抛光液；循环泵，用于将抛光液配液装置中的抛光液通过第一传输管道抽出，再通过第二传输管道传输回抛光液配液装置；第一传输管道，用于传输循环泵从抛光液配液装置抽取的抛光液；第二传输管道，用于传输循环泵向抛光液配液装置传输的抛光液；供应盒，用于抽取第一传输管道或第二传输管道内的抛光液向化学机械抛光机台传输。本发明抛光液传输设备能够保证向化学机械抛光机台传输的抛光液的质量，从而提高了化学机械抛光的工艺质量。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 传输 设备 | ||
【主权项】：
1.一种抛光液传输设备，其特征在于，包括：抛光液配液装置，连通第一传输管道和第二传输管道，用于配制抛光液通过第一传输管道输出并接收第二传输管道输回的抛光液；循环泵，与第一传输管道和第二传输管道连通，用于将抛光液配液装置中的抛光液通过第一传输管道抽出，再通过第二传输管道传输回抛光液配液装置；第一传输管道，连通抛光液配液装置和循环泵，用于传输循环泵从抛光液配液装置抽取的抛光液；第二传输管道，连通循环泵和抛光液配液装置，与抛光液配液装置、第一传输管道和循环泵构成封闭的循环管路，用于传输循环泵向抛光液配液装置传输的抛光液；供应盒，外接于第一传输管道或第二传输管道上，紧靠于化学机械抛光机台，并与化学机械抛光机台连通，用于抽取第一传输管道或第二传输管道内的抛光液向化学机械抛光机台传输。
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