[发明专利]气瓶增压装置无效
| 申请号： | 200610148079.8 | 申请日： | 2006-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101210649A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 钱吴全;蔡国辉;李伟;张勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/00 | 分类号： | F17C7/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气瓶增压装置，用于增加气瓶内部的压力，该装置包括一控制电路以及一加热设备，该控制电路接收来自气瓶的压力信号，根据该压力信号选择性输出一工作信号；该加热设备接收上述工作信号，对该气瓶进行加热增压。根据不同的使用需要，可以使用加热垫片或热水水管等加热设备。与现有技术相比，本发明的气瓶增压装置结构简单，容易实施，其提高了气瓶内气体的利用率，用于半导体制程领域可大大降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 增压 装置 | ||
【主权项】：
1.一种气瓶增压装置，用于增加气瓶内部的压力，所述装置包括：一控制电路，其接收来自所述气瓶的压力信号，根据所述压力信号选择性输出一工作信号；一加热设备，其接收来自所述控制设备的工作信号，对所述气瓶进行加热。
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