[发明专利]剥离剂无效
| 申请号： | 200610141621.7 | 申请日： | 2006-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1940733A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | R·L·奥格 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了可以从电子器件之类的基材上除去聚合物材料和氧化铜的组合物和方法。这些组合物和方法特别适合用来在等离子体蚀刻过程之后从电子器件上除去聚合物残余物。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种用于从基材上除去聚合物材料的组合物，该组合物包含：(a)0.05-5重量％的氟化物源；(b)40-95重量％的有机溶剂；(c)5-50重量％的水；以及(d)可溶于醇的含氮羧酸，该羧酸在25℃的水溶解度≥25克/100克水。
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