[发明专利]角速度传感器无效
申请号: | 200610107860.0 | 申请日: | 2006-07-26 |
公开(公告)号: | CN1904553A | 公开(公告)日: | 2007-01-31 |
发明(设计)人: | 石川宽;佐野聪;胜木隆史;高桥勇治;中沢文彦;山地隆行 | 申请(专利权)人: | 富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 |
主分类号: | G01C19/56 | 分类号: | G01C19/56 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈坚 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种角速度传感器,包括:第一平衡环部;第二平衡环部,其通过设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处的第一扭杆而与所述第一平衡环部连接;框架部,其通过设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处的第二扭杆而与所述第二平衡环部连接;第一静电耦合部,设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处以使所述第一平衡环部和所述第二平衡环部静电耦合;以及第二静电耦合部,设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处以使所述第二平衡环部和所述框架部静电耦合。在所述第一平衡环部中,沿所述第一扭杆的方向的侧面的最大宽度比设置有所述第一扭杆的侧面的宽度大。 | ||
搜索关键词: | 角速度 传感器 | ||
【主权项】:
1、一种角速度传感器,包括:第一平衡环部;第二平衡环部,其通过设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处的第一扭杆而与所述第一平衡环部连接;框架部,其通过设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处的第二扭杆而与所述第二平衡环部连接;第一静电耦合部,设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处以使所述第一平衡环部和所述第二平衡环部静电耦合;以及第二静电耦合部,设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处以使所述第二平衡环部和所述框架部静电耦合,其中在所述第一平衡环部中,沿所述第一扭杆的方向的侧面的最大宽度比设置有所述第一扭杆的侧面的宽度大。
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