[发明专利]具有表面纹路的研磨垫有效
| 申请号： | 200610090172.8 | 申请日： | 2006-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN101100048A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 冯崇智;姚伊蓬;赵征祥;宋坤政 | 申请（专利权）人： | 三芳化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D17/00 | 分类号： | B24D17/00;B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 刘国伟;王允方 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有表面纹路的研磨垫，所述表面纹路位于所述研磨垫的一抛光面上，所述表面纹路包括至少一第一沟槽、至少一第二沟槽和复数个孔洞。所述第二沟槽由所述研磨垫的一中央部延伸到所述研磨垫的边缘，且所述第一沟槽和所述第二沟槽交错而形成复数个交错点。所述孔洞位于所述交错点上，且所述孔洞的深度大于所述第一沟槽的深度。藉此，所述第二沟槽可使悬浮于研磨浆液的杂质快速地离开所述研磨垫，而所述孔洞则可以储存研磨浆液以延长所述研磨浆液内的研磨粒子离开所述研磨垫的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 表面 纹路 研磨 | ||
【主权项】：
1.一种具有表面纹路的研磨垫，包括：一表面纹路，所述表面纹路包括：至少一第一沟槽；至少一第二沟槽，由所述研磨垫的一中央部延伸到所述研磨垫的一边缘，且所述第一沟槽和所述第二沟槽交错而形成复数个交错点；和复数个孔洞，位于所述交错点上，且所述孔洞的深度大于所述第一沟槽的深度。
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