[发明专利]基片存储容器及其制造方法无效
申请号: | 200610080573.5 | 申请日: | 2006-05-17 |
公开(公告)号: | CN1865096A | 公开(公告)日: | 2006-11-22 |
发明(设计)人: | 长谷川晃裕;三村博 | 申请(专利权)人: | 信越聚合物株式会社 |
主分类号: | B65D85/86 | 分类号: | B65D85/86;H01L21/68;B29B11/14 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周艳玲;王琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开一种基片存储容器,包括容器主体、第一支撑部件和第二支撑部件。容器主体包括后壁和一对侧壁,用于将基片存储在两侧壁之间。第一支撑部件相对设置在每个侧壁上,用于支撑基片的周缘部分。第二支撑部件相对设置在每个侧壁上,用于支撑基片的周缘部分,并且位于后壁和第一支撑部件之间。第一支撑部件和第二支撑部件覆盖有摩擦性能低于容器主体摩擦性能的树脂层。 | ||
搜索关键词: | 存储 容器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种基片存储容器,包括:容器主体,包括后壁和一对侧壁,并用于将基片存储在所述侧壁之间;相对设置在每个侧壁上的第一支撑部件,用于支撑基片的周缘部分;以及相对设置在每个侧壁上的第二支撑部件,用于支撑基片的周缘部分,并且位于后壁和第一支撑部件之间,其中第一支撑部件和第二支撑部件被覆盖有摩擦性能低于容器主体摩擦性能的树脂层。
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