[发明专利]基板检查装置及基板检查方法无效
| 申请号： | 200610080248.9 | 申请日： | 2006-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN1920585A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 绪方光;太田宪宏;天川良太 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/02;G01R31/01;H01L21/66;B65G47/74 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 基板检查装置及基板检查方法。本发明的课题是提供可以对被检查基板施加温度应力并缩短检查时间的基板检查装置以及基板检查方法。作为解决手段，具有：冷却保持部(22)，其具有对被检查基板(8)进行冷却的冷却盘(221)；加热保持部(24)，其具有对被检查基板(8)进行加热的加热盘(241)；运送部(32)，其以预先设定的顺序将被检查基板(8)运送到冷却盘(221)以及加热盘(241)的载置部位；以及移动式探测器(37、38)，其检查由冷却保持部(22)冷却后的检查基板(8)以及由加热保持部(24)加热后的检查基板(8)。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查装置，进行在基板上形成的配线的检查，其特征在于，具有：冷却部，其具有将所述基板检查装置内的第一载置部位上载置的所述基板冷却至低温的冷却盘；加热部，其具有将所述基板检查装置内的第二载置部位上载置的所述基板加热至高温的加热盘；检查部，其具有：第一检查部，其在所述冷却部中的第一检查位置处对由该冷却部冷却后的所述冷却盘上的基板进行检查、以及第二检查部，其在所述加热部中的第二检查位置处对由该加热部加热后的所述加热盘上的基板进行检查；运送部，其按照预先设定的顺序向所述第一载置部位以及所述第二载置部位运送所述基板；以及控制部，其对所述冷却部、所述加热部、所述检查部以及所述运送部的工作进行控制。
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