[发明专利]基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器无效
| 申请号： | 200610040701.3 | 申请日： | 2006-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN1851472A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 魏泽文;秦明;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/06 | 分类号： | G01P5/06;G01P5/08 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器是一种利用掺杂压阻的正交支撑梁进行检测的压阻式流速流向传感器。该传感器由立柱(1)、正交支撑梁(2)、SOI硅衬底(3)组成，SOI硅衬底(3)为一个中空的矩形，在SOI硅衬底(3)中空部分的上部设有正交支撑梁(2)，在正交支撑梁(2)的中间交叉处设有立柱(1)。立柱采用SU－8胶制造。该传感器具有可测量二维风向、功耗小、响应快、温漂小和可靠性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微机 技术 压阻非热式 流速 流向 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器，其特征在于该传感器由立柱(1)、正交支撑梁(2)、SOI硅衬底(3)组成，SOI硅衬底(3)为一个中空的矩形，在SOI硅衬底(3)中空部分的上部设有正交支撑梁(2)，在正交支撑梁(2)的中间交叉处设有立柱(1)。
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