[发明专利]电磁悬浮静电驱动微转动陀螺无效
| 申请号： | 200610023455.0 | 申请日： | 2006-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN1804548A | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | 吴校生;陈文元;赵小林;张卫平 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/24 | 分类号： | G01C19/24;G01C19/08;G01C19/02 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电磁悬浮静电驱动微转动陀螺，属于微机电系统技术领域。本发明包括：旋转驱动电极、微转子、稳定悬浮线圈外圈、齿形电极、传感电极、基体、稳定悬浮线圈内圈、连接线，稳定悬浮线圈内圈、稳定悬浮线圈外圈、传感电极、旋转驱动电极都设在基体上，和基体形成固定联接，微转子在电磁力作用下悬浮在基体的上方，微转子呈圆环形，圆环内侧均匀分布有齿形电极，旋转驱动电极和齿形电极形成可变电容，稳定悬浮线圈内圈和稳定悬浮线圈外圈通过连接线连接。本发明提出的电磁悬浮静电驱动微转动陀螺中引入了静电旋转驱动结构，通过静电驱动可以显著增大微转子的旋转扭矩和转速，进而提高微陀螺的测量精度，推广微陀螺的应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁 悬浮 静电 驱动 转动 陀螺 | ||
【主权项】：
1、一种电磁悬浮静电驱动微转动陀螺，包括：旋转驱动电极(1)、微转子(2)、稳定悬浮线圈外圈(3)、齿形电极(4)、传感电极(5)、基体(6)、稳定悬浮线圈内圈(7)、连接线(8)，其特征在于，稳定悬浮线圈内圈(7)、稳定悬浮线圈外圈(3)、传感电极(5)、旋转驱动电极(1)都设在基体(6)上，和基体(6)形成固定联接，微转子(2)在电磁力作用下悬浮在基体(6)的上方，微转子(2)呈圆环形，圆环内侧均匀分布有齿形电极(4)，旋转驱动电极(1)和齿形电极(4)形成可变电容，稳定悬浮线圈内圈(7)和稳定悬浮线圈外圈(3)通过连接线(8)连接。
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