[发明专利]凹面光栅制作光路中测量波源点与毛坯中心点距离的方法

摘要

凹面光栅制作光路中测量波源点与毛坯中心点距离的方法，属于光谱技术领域中涉及的一种测量波源点与光栅毛坯中心点距离的方法。要解决的技术问题是：提供一种凹面全息光栅制作光路中测量波源点与凹面全息光栅毛坯中心点距离的方法。技术方案为：第一步，建立一套凹面全息光栅曝光装置。第二步，制备一套测量凹面全息光栅制作光路中波源点与毛坯中心点之间距离的装置。第三步，利用第一步建立的凹面全息光栅曝光装置的光路。第四步，调整第二步中建立的测距装置在干涉场中的位置。第五步，确定针孔滤波器的位置。针孔滤波器的针孔位置到凹面全息光栅毛坯中心点的距离就是所测的波源点到凹面全息光栅毛坯中心点的距离。

主权项

1、凹面光栅制作光路中测量波源点与毛坯中心点距离的方法，其特征在于：第一步，建立一套凹面全息光栅曝光装置；包括Kr+激光器(1)、平面反射镜(2)、半反半透镜(3)、平面反射镜(4)和(5)、针孔滤波器(6)和(7)、干涉场(8)和光栅毛坯(9)；在Kr+激光器(1)的激光束传播方向的光轴上置有平面反射镜(2)，平面反射镜(2)与光轴成45°角；在平面反射镜(2)的反射光的光路上置有半反半透镜(3)，它的半反半透面与光轴成45°角；分别在半反半透镜(3)的反射面和透射面出射光的光轴上置有平面反射镜(4)和平面反射镜(5)；分别在平面反射镜(4)和平面反射镜(5)的反射光线的光轴上置有针孔滤波器(6)和针孔滤波器(7)；针孔滤波器(6)和针孔滤波器(7)发射光线的交汇区域形成了干涉场(8)；在干涉场(8)内置有光栅毛坯(9)，光栅毛坯(9)的中心点位于干涉场(8)的中心位置；本发明要测量的是经过针孔滤波器(6)和(7)发出的球面波波源点与光栅毛坯(9)的中心点之间的距离，也就是针孔位置与毛坯中心点之间的距离；第二步，制备一套测量凹面全息光栅制作光路中波源点与毛坯中心点之间距离的装置；包括带有刻度的滑轨(10)、带有刻度的游标(11)、转接杆(12)、夹具(13)、千分表右探头(14)、千分表左探头(15)和千分表(16)；带有刻度的游标(11)安装在带有刻度的滑轨(10)上，两者之间滑动接触，两者的结合相当于游标卡尺，固定在转接杆(12)的下端，并与转接杆(12)垂直，夹具(13)在转接杆(12)的上端，固定在转接杆(12)的腔内，千分表(16)和它的左、右探头是一体件，千分表右探头(14)水平地穿过夹具(13)，伸向夹具(13)的右方，千分表(16)的左探头(15)和右探头(14)在同一水平轴线上；第三步，利用第一步建立的凹面全息光栅曝光装置的光路，光路中没有摆放针孔滤波器(6)和(7)，而平面反射镜(4)、(5)和光栅毛坯(9)的位置已经确定，激光束正好打在光栅毛坯(9)的中心位置O，用虚线画出的针孔滤波器(6)和(7)表示需要放入光路中的位置，它们的具体位置要根据具体数值和测距装置来确定；第四步，调整第二步中建立的测距装置在干涉场中的位置，使千分表的两个探头(14)和(15)与激光的主光轴重合；第五步，根据球面波波源点与凹面全息光栅毛坯中心点的具体数值，结合游标卡尺、千分表和高度尺的刻度值，确定针孔滤波器(6)和(7)的位置；针孔滤波器(6)和(7)的针孔位置到凹面全息光栅毛坯中心点的距离就是所测的波源点到凹面全息光栅毛坯中心点的距离。