[发明专利]具有内置热电冷却器的微电子组件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200580044924.0 申请日: 2005-12-27
公开(公告)号: CN101091246A 公开(公告)日: 2007-12-19
发明(设计)人: M·法拉哈尼;G·克莱斯勒;K·弗鲁特希 申请(专利权)人: 英特尔公司
主分类号: H01L23/38 分类号: H01L23/38;H01L35/28
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 王英
地址: 美国加*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 用于制造包含内置TEC的微电子组件的方法,一种包含内置TEC的微电子组件,以及一种包含微电子组件的系统。该方法包括提供微电子装置,以及将TEC直接制造到微电子装置上使得在TEC和微电子装置之间不存在安装材料。
搜索关键词: 具有 内置 热电 冷却器 微电子 组件 及其 制造 方法
【主权项】:
1、一种制造微电子组件的方法,该微电子组件包含内置TEC和耦合到该TEC的微电子装置,该方法包括:提供所述微电子装置;将所述TEC直接制造到所述微电子装置上,使得在所述TEC和所述微电子装置之间不存在安装材料。
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