[发明专利]角速度传感器有效
| 申请号： | 200580023586.2 | 申请日： | 2005-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN1985149A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 荒木隆太;寅屋敷治;北村透;川崎博司;竹本刚士;中村康治;P·C·费尔;K·汤森;I·斯图兰德 | 申请（专利权）人： | 住友精密工业株式会社;BAE系统公共有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P9/04 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 利用MEMS技术在硅晶片(1)上形成的振子(10)具有支承在中心部(11)并且在圆周方向八等分配置延伸的八个梁部(12)，以及与该八个梁部(12)连接的环状的环部(13)。在环部(13)的外侧，从环部(13)空出间隙(22)相等地配置有静电驱动用或电容检测用等的八个电极(21a～21h)。在环部(13)的内侧，从环部(13)空出间隙(24)相等地配置有16个频率调整用电极(23)。 | ||
| 搜索关键词： | 角速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一利角速度传感器，具有形成有振子的半导体基板，其中，该振子具有振动状态根据检测对象的角速度而变化的环部，具特征在于：在所述半导体基板的所述环部内侧或外侧形成有所述振子的静电驱动用电极和所述振子的电容检测用电极，在与所述静电驱动用电极以及所述电容检测用电极相反一侧的所述环部外侧或内侧形成有所述振子的振动频率调整用电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友精密工业株式会社;BAE系统公共有限公司，未经住友精密工业株式会社;BAE系统公共有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580023586.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：互连连接器
- 下一篇：具有含碳化物的发光体的白炽灯
