[发明专利]光学元件及其制造方法无效
| 申请号： | 200580014872.2 | 申请日： | 2005-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN1950724A | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 田中康弘;梅谷诚;山口博史;吉川智延;林克彦 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G02B1/11 | 分类号： | G02B1/11 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 孙敬国;张惠萍 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种抑制数值孔径减小和噪声增加的结构、元件和光学元件及其方便、低成本、高效的制造方法。本发明涉及的结构其中包括：在基底材料(1)上形成并具有呈预定形状的结构单元的树脂图案(A)(3)；以及在树脂图案(A)(3)的表面上形成，并具有按短于或等于所用光的波长范围的周期配置的、呈预定形状的微观结构单元的树脂图案(B)(5)。所涉及的此结构的制造方法，其中包含下列步骤：(i)在基底材料(1)上形成树脂层(2)，并使该树脂层(2)经过曝光－显影处理，以便形成具有呈预定形状的结构单元的树脂图案(A)(3)；以及(ii)使该树脂图案(A)(3)的表面经过曝光－显影处理，以便形成具有按短于或等于所用光的波长范围的周期配置的、呈预定形状的微观结构单元的树脂图案(B)(5)，其中步骤(i)和(ii)具有顺序进行的。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种结构，其特征在于，包括：在基底材料上形成并具有呈预定形状的结构单元的树脂图案(A)；以及在所述树脂图案(A)的表面上形成，并具有以短于或等于所用光的波长范围的周期排列的、呈预定形状的微观结构单元的树脂图案(B)。
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