[发明专利]具有光学探针的测量设备有效
| 申请号： | 200580014484.4 | 申请日： | 2005-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN1950670A | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | P·莱曼 | 申请（专利权）人： | 卡尔·马尔控股有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G02B21/00;G01B11/02;G01B5/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王小衡;魏军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 测量设备(1)用于测量一个工件的形状、轮廓和/或粗糙程度，它基于一个非接触的具有很大数值孔径的光学探针。探针有至少两个不同的焦点，其与至少两个光接收器相关。后者产生的差分信号用于控制定位设备(13)以这样的方式跟踪光学探针以便工件表面保持在探针的测量范围内。已经验证差分信号导致快速和精确地跟踪传感器排列(3)的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 光学 探针 测量 设备 | ||
【主权项】：
1.测量设备(1)，特别是用于测量工件表面的形状和/或粗糙度，包括共焦传感器排列(3)，其包括至少一个光源(19)和一个物镜(32)，其产生至少两个空间隔开的焦点(35，36)，以及至少两个与不同的焦点(35，36)相关的光接收器(25，27)，和计算电路(28，38)，其输入连接到光接收器(25，27)，并且在其输出(42)产生一个用于距离测量的差分信号(UA)。
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