[实用新型]可自行除去挥发物的真空晶体生长炉观察窗无效

专利信息
申请号: 200520121906.5 申请日: 2005-09-22
公开(公告)号: CN2844146Y 公开(公告)日: 2006-12-06
发明(设计)人: 李建利;曾繁明;万玉春;关效贤;孙晶;刘景和 申请(专利权)人: 长春理工大学
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00
代理公司: 中国兵器工业集团公司专利中心 代理人: 曲博
地址: 130022吉林*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 可自行除去挥发物的真空晶体生长炉观察窗属于光学晶体生长设备技术领域。现有的真空晶体生长炉观察窗没有任何清除挥发物的装置,在拉制晶体的过程中无法除去粘附在观察窗内壁上的挥发物,影响观察。本实用新型是在观察窗内外两侧安放一对磁性滑块,二者在磁力的作用下相对吸附在观察窗的内、外两侧。在观察窗内侧安装一块保持架,该保持架将内侧磁性滑块保持在槽形空间内,保持架上也开有窗口,与观察窗窗口相对。在真空晶体生长炉工作过程中,可以随时拉动外侧磁性滑块,带动内侧磁性滑块清理观察窗上的挥发物。本实用新型可应用于高频或者中频感应真空晶体生长设备领域。
搜索关键词: 自行 除去 挥发物 真空 晶体生长 观察窗
【主权项】:
1、一种可自行除去挥发物的真空晶体生长炉观察窗,位于高频或者中频感应真空晶体生长炉炉门中部,镶嵌在炉门上,呈条状,垂直方向长,透过观察窗玻璃可以观察炉内晶体的生长情况,其特征在于,玻璃(2)的厚度薄于炉门(1)的厚度,并在炉门(1)厚度方向上居中,在炉门(1)内、外两侧分别有槽形空间,在这两个槽形空间中各有一个磁性滑块(3、4),二者相对处在玻璃(2)的内、外两侧,在炉门(1)内侧的观察窗部位有一块条状保持架(5),在保持架(5)中间也开有条状窗口,该窗口二维方向上的尺寸小于观察窗窗口的尺寸,保持架(5)将滑块(3)保持在槽形空间内,滑块(4)能够在玻璃(2)外侧移动,滑块(3)能够在玻璃(2)内侧表面随之滑动。
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