[发明专利]一种多路渗透式配气装置

摘要

一种多路渗透式配气装置，依次由本底载气源、气体选通系统、气体流量控制装置、一室多腔/管渗透室、集气装置组成，通过采用多路气体选通装置将本底载气分为流量可控的n路并分别与指定的渗透室或管连通，分流后的本底载气分别通过不同的渗透管，从而得到多路混合气体。本发明涉及的渗透式配气装置结构简单、操作方便，可在恒温室内预置安装数支标准渗透管，从而实现在同一工作周期内连续工作，同时配制多种不同规格和/或浓度的目标混合气体，显著提高工作效率。该装置对内渗透和外渗透配气装置均适用，特别适用于低浓度、高精度标准混合气体的制备，所制备的混合气体精度高、稳定性好，能快速准确配置多种混合气体，也可用于高精度混合气体的大量制备。

主权项

1.一种多路内渗式配气装置依次由通过气体管路(5)连接的本底载气源(1)、流量控制器(2)、设置在恒温室(3)中的渗透室(31)、集气装置(4)组成，渗透室(31)中置有标准渗透管(32)，其特征在于：在恒温室(3)中均布n个渗透室(31)，在气源(1)和恒温渗透室(31)之间有气体选通装置(6)，将来自气源(1)的气体分为n路流量可控的本底载气并分别与指定的渗透室连通，分流后的本底载气分别通过不同的渗透室，输出目标气体。