[发明专利]制造太阳能电池用的燧道炉传送带及其制造方法无效
申请号: | 200510029145.5 | 申请日: | 2005-08-26 |
公开(公告)号: | CN1920458A | 公开(公告)日: | 2007-02-28 |
发明(设计)人: | 陈卓明;苏晓平;江彤 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | F27B9/30 | 分类号: | F27B9/30 |
代理公司: | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人: | 楼仙英 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供制造太阳能电池用的燧道炉传送带及其制造方法。制造太阳能电池用的燧道炉传送带用“镍铬合金带”构成,其特征是,传送带上表面设置多个“镍铬合金”构成的支撑柱,在支撑柱顶表面涂覆陶瓷层(即Al2O3)。按照本发明方法制造的制造太阳能电池用的燧道炉传送带,在制造太阳能电池的过程中“镍铬合金带”构成的燧道炉传送带不与硅晶片直接接触,避免了“镍铬合金带”中包含的金属污染硅晶片;而且能承受燧道炉中高达900℃-1000℃的烧结高温。 | ||
搜索关键词: | 制造 太阳能电池 燧道 传送带 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.制造太阳能电池用的燧道炉传送带,它用“镍铬合金带”构成,其特征是,传送带上表面设置多个“镍铬合金带”构成的支撑柱,在支撑柱表面涂覆陶瓷层(即Al2O3)。
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