[发明专利]压电振动片及其支撑结构、压电振子及振动型压电陀螺仪有效
| 申请号： | 200410069009.4 | 申请日： | 2004-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN1576785A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 唐木荣二;川内修 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P9/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种压电振动片及其支撑结构、压电振子及振动型压电陀螺仪。压电振动片(10)具有：基部(12)；从基部(12)在同一平面内呈放射状延伸的多个驱动用振动臂(16－1～16－4)和检测用振动臂(20－1～20－2)，在所述振动臂之间形成有：从基部(12)延伸的具有弹性的多个第1梁(32－1～32－4)，至少形成在所述梁的前端部的第1支撑部(30－1～30－4)。在所述驱动用振动臂和检测用振动臂形成电极图形，连接半导体装置(80)并被驱动。该压电振动片(10)被收容在由基部部件(82)和盖部件(84)构成的容器内，构成压电振子(200)、振动型压电陀螺仪(90)。从而，可保持稳定的驱动振动和检测振动。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动 及其 支撑 结构 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种压电振动片，其特征在于，形成有以下部分：基部；从该基部在同一平面内呈放射状延伸的多个振动臂；在所述振动臂之间从所述基部延伸的多个具有弹性的第1梁；至少形成在所述梁的前端部的第1支撑部。
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