[发明专利]抑制取代的环四硅氧烷聚合的稳定剂有效
| 申请号： | 200410055002.7 | 申请日： | 2004-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN1590390A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | S·G·迈奥尔加;萧满超;T·R·加夫尼;R·G·西夫雷特 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | C07F7/21 | 分类号： | C07F7/21 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 范赤;刘冬 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及：(a)一种使环四硅氧烷如1，3，5，7－四甲基环四硅氧烷稳定并抑制聚合的方法，其被用于电子材料制造中硅氧化物的化学汽相沉积工艺，该方法包括：向该环四硅氧烷中提供有效量的自由基清除剂阻聚剂；和(b)一种被稳定并抑制聚合的环四硅氧烷如1，3，5，7－四甲基环四硅氧烷的组合物，其作为电子材料制造中硅氧化物的前体被用于化学汽相沉积工艺，该组合物包含：该环四硅氧烷和自由基清除剂阻聚剂。 | ||
| 搜索关键词： | 抑制 取代 环四硅氧烷 聚合 稳定剂 | ||
【主权项】：
1.一种使环四硅氧烷稳定并抑制聚合的方法，其被用于电子材料制造中硅氧化物的化学汽相沉积工艺，该方法包括：向具有下式的环四硅氧烷中提供有效量的自由基阻聚剂：![]()
其中R1-7分别选自于氢、直链、支链或环状C1-10烷基和C1-4烷氧基。
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