[发明专利]石英玻璃与熔硅的反应性及熔硅表面处的振动的评估工艺有效
| 申请号： | 200310102907.0 | 申请日： | 2003-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN1497071A | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 岸弘史;神田稔;福井正德 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/22 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供了一种用于容纳在石英玻璃坩埚内的熔硅表面处的振动级的评估工艺，所述工艺包括将从石英玻璃坩埚中切下的石英玻璃试样放在真空炉中，熔融所述玻璃试样上的少量硅，并测量熔硅的振动周期。而且，还提供了一种不会在容纳于石英玻璃坩埚内的熔硅表面处引起振动的石英玻璃坩埚，其中坩埚内壁的石英玻璃的振动周期控制在超过1/6秒。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 反应 表面 振动 评估 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种用于石英玻璃与熔硅的反应性的评估工艺，所述工艺包括：在真空炉中熔融所述石英玻璃的试样上的少量硅，和测量所述熔硅的振动周期。
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