[发明专利]半导体设备制程环境微震监测系统无效
| 申请号： | 03101986.2 | 申请日： | 2003-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN1521478A | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡宏毅 | 申请（专利权）人： | 台湾奈米科技应用股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/58 | 分类号： | G01C19/58 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种半导体设备制程环境微震监测系统，其抗微震平台是由一钢结构体固定在一混凝土基础上，一阻尼结构体定位在该钢结构体上，该阻尼结构体的面材上是承载一标的机台；复数个加速度规，布设在该抗微震承载平台的钢结构体与阻尼结构体之间；一信号集录及处理装置，包括有复数个信号通道，经由信号线连接于该加速度规，用以集录各个加速度规所检测到的信号，该每一个信号通道包括有一模拟至数字转换器、一资料栓锁器，以将各个加速度规所量测到的信号传送至一中央处理器中。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 环境 监测 系统 | ||
【主权项】：
1、一种半导体设备制程环境微震监测系统，其特征在于包括：抗微震平台，其由一钢结构体固定在一混凝土基础上，一阻尼结构体定位在该钢结构体上，该阻尼结构体的面材上承载一标的机台；复数个加速度规，布设在该抗徽震承载平台的钢结构体与阻尼结构体之间；一信号集录及处理装置，包括有复数个信号通道，经由信号线连接于该加速度规，用以集录各个加速度规所检测到的信号，该每一个信号通道包括有一模拟至数字转换器、一资料全锁器，以将各个加速度规所量测到的信号传送至一中央处理器中。
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