[发明专利]液体材料汽化及供给装置

摘要

一种液体汽化及供给装置，具有较高的传热效率，利用依靠加热器而保持设定温度的倾斜的汽化板，可以用少量的液体产生大量的蒸气流量，液体从与汽化板上端相邻的喷嘴中流出，在流到倾斜的汽化板表面时开始汽化。当在汽化板20上积聚的液体量达到预定量时，液面传感器40使得液体从喷嘴中停止流入。然后，随着汽化的继续，液面下降，传感器使得液体恢复流入。停止流入液体和恢复流入液体的循环不断重复以维持恒定的液面。

主权项

1.一种液体汽化及供给装置，包括：汽化容器；置于容器内的汽化板，所述汽化板相对水平面倾斜；加热所述汽化板的装置；将液体供给到所述汽化板上的装置，所述装置与所述汽化板上端相邻；用于响应所述汽化板上聚集的液面的液面探测装置；以及响应所述液面探测装置的装置，所述装置通过所述的供给装置控制所述汽化板上的液体的供给量。