[发明专利]加速度传感器无效
| 申请号： | 02143502.2 | 申请日： | 2002-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1409118A | 公开（公告）日： | 2003-04-09 |
| 发明（设计）人： | 斎藤正勝;田中茂德;池田由夫 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超小型和薄的半导体加速度传感器，具有高的灵敏度。加速度传感器具有一质量部分形成在硅半导体衬底的中心部分，一框架形成衬底的周边部分，薄的弹性支撑臂，位于质量部分和框架的上部并连接质量部分和框架，许多对压敏电阻分布在弹性支撑臂的上表面侧。在质量部分中形成了许多凹进部分，它们从它的边缘向它的中心凹进。每个弹性支撑臂在每个凹进部分的底部与质量部分的上表面连接，弹性支撑臂的各侧与凹进部分的各侧隔离。由于质量部分的体积和弹性支撑臂的长度能够独立地做大，灵敏度能够做得更大。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种加速度传感器，包括：处在中心的质量部分；围绕质量部分的厚边框，它到质量部分有一个预设的距离；多个弹性支撑臂，桥接质量部分的一个上表面和厚边框；以及布置在弹性支撑臂上的应变仪，其中多个凹进部分形成在质量部分中，它们从质量部分的周边向质量部分的中心凹进，每一个弹性支撑臂在每个凹进部分的底部与质量部分的上表面连接，弹性支撑臂的各侧与凹进部分的各侧分离。
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