[发明专利]侦测卡及其制备方法有效
| 申请号： | 02142468.3 | 申请日： | 2002-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN1484033A | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | 刘俊良;徐梅淑 | 申请（专利权）人： | 思达科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/073;H01L21/66;H05K3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王敬波 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种半导体测试用的侦测卡，其包含至少一基材及至少一导电层，该导电层具有一电路图案，且该电路图案的线路与线路之间具有一间隙，该间隙深入基材表面，利用该间隙所达成的空气隔绝效果，可提升侦测卡的电阻值并降低其寄生电容。再者，该电路图案及间隙利用雕刻方式形成，可避免现有技术中因蚀刻不良而造成电路设计的误差，而产生漏电流现象。 | ||
| 搜索关键词： | 侦测 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体测试用的侦测卡，包含：至少一基材；及至少一导电层，设置于该基材表面，该导电层具有一电路图案，该电路图案的相邻线路之间以一间隙加以隔离，且该间隙深入该基材表面。
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