[发明专利]大孔径金刚石涂层拉拔模的制备方法有效

专利信息
申请号: 02136951.8 申请日: 2002-09-12
公开(公告)号: CN1401818A 公开(公告)日: 2003-03-12
发明(设计)人: 张志明;沈荷生;孙方宏;郭松寿;金卫国 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27;B21C3/02
代理公司: 上海交达专利事务所 代理人: 毛翠莹
地址: 200030*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种大孔径金刚石涂层拉拔模制备方法,以孔径大于φ15毫米的硬质合金拉拔模为衬底,内孔表面经稀盐酸滴加双氧水腐蚀、清洗后置于反应室中,采用由多根热丝组成并由圆形钼片均匀隔离分布的鼠笼式热丝组件来替代单根热丝,热丝组件穿过模孔后用耐高温弹簧拉直,并使热丝组件轴线与模孔轴线相重合,然后用热丝CVD法在内孔表面沉积得到金刚石涂层及纳米金刚石复合涂层。由于本发明采用的鼠笼式多根热丝分布的对称性与均匀性,以及热丝与孔径表面的距离缩短,涂层的质量和厚度都能得到保证。制备的涂层拉拔模可用于多股电线的绞合和紧压,也可用于金属管的管壁减薄、管壁对焊、定径等各种用途,具有摩擦系数小、使用寿命长等优点。
搜索关键词: 孔径 金刚石 涂层 拉拔 制备 方法
【主权项】:
1、一种大孔径金刚石涂层拉拔模的制备方法,以大孔径硬质合金拉拔模为衬底,内孔表面经稀盐酸滴加双氧水腐蚀、清洗后置于反应室中,其特征在于采用由多根热丝组成并由圆形钼片均匀隔离分布的鼠笼式热丝组件来替代单根热丝,鼠笼式热丝组件穿过拉拔模内孔后与灯丝电极相连,用耐高温弹簧拉直,并使热丝组件轴线与模孔轴线相重合,然后用热丝CVD沉积法在拉拔模内孔表面沉积金刚石涂层,工艺参数为:压力4~8Kpa,气体总流量400~800毫升/分,丙酮/氢气体积比为1~3%,热灯丝温度2000~2300℃,直流偏流4~10A,经4~8小时沉积后得到常规金刚石涂层。
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