[发明专利]利用光阻流修补针孔缺陷无效
| 申请号： | 01816179.0 | 申请日： | 2001-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN1466707A | 公开（公告）日： | 2004-01-07 |
| 发明（设计）人： | M·K·坦普尔顿 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;王刚 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 根据本发明的一方面，光阻剂涂层中的针孔缺陷是通过简短地加热该光阻剂使光阻剂流动并且填补针孔。该光阻剂加热至或高于该光阻剂流动的温度达一段长到使该光阻剂能流动并且填补针孔缺陷的时间，但不得使该光阻剂图案走样。该原始的光阻剂图案可能会偏移而于该针孔修补过程期间产生部分流动。可一次加热整个图案化光阻剂，或可一次加热一部分。热量施用可视情况需要仅限于发现针孔缺陷的部分。通过本发明，可获得不含针孔缺陷的极薄图案化光阻涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 光阻流 修补 针孔 缺陷 | ||
【主权项】：
1.一种用于修补针孔缺陷的系统(200、500)，该针孔缺陷位于基材(220)上的图案化光阻涂层(210、540)中，包括：一加热装置(240、520)，该装置以经控制的方式加热该光阻剂(210、540)，使该光阻剂(210、540)充分地流动以封闭针孔缺陷，同时实质上保持该光阻剂图案。
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