[发明专利]用于i－线的高分辨率感光性树脂组合物和形成图案的方法无效
| 申请号： | 01804830.7 | 申请日： | 2001-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN1401096A | 公开（公告）日： | 2003-03-05 |
| 发明（设计）人： | 高桥修一 | 申请（专利权）人： | 克拉瑞特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于i－线曝光的感光性树脂组合物，包括碱溶性树脂和含有醌二叠氮化物基团的光敏剂，其中碱溶性树脂为酚醛清漆树脂和选自下述一个或更多树脂的混合物，(i)聚丙烯酸酯、(ii)聚异丁烯酸酯、(iii)聚苯乙烯衍生物和(iv)包括两个或更多选自丙烯酸酯、异丁烯酸酯和苯乙烯衍生物单体的共聚物。将光敏树脂组合物应用到如平板显示器的基底上，用i－线照射，优选的曝光能量为50到500mJ/cm2，将曝光后的膜进行显影，得到高分辨率的、没有拖尾等现象的较好的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高分辨率 感光性 树脂 组合 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.使用i-线作为曝光光源，使用感光性树脂组合物形成图案的方法，其中所述的组合物包括碱溶性树脂和含有醌二叠氮化物基团的光敏剂，其中碱溶性树脂为酚醛清漆树脂和选自下述一个或更多树脂的混合物，(i)聚丙烯酸酯、(ii)聚异丁烯酸酯、(iii)聚苯乙烯衍生物和(iv)包括两个或更多选自丙烯酸酯、异丁烯酸酯和苯乙烯衍生物单体的共聚物。
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