[发明专利]高转速百万赫频率带域超音波清洗无效
| 申请号： | 00809593.0 | 申请日： | 2000-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN1399581A | 公开（公告）日： | 2003-02-26 |
| 发明（设计）人： | 杰弗·法伯;阿兰·M·拉德曼;裘莉亚·斯沃凯夫斯基;海尔姆斯·特利凯 | 申请（专利权）人： | 拉姆研究公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;//B08B1/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 马娅佳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法，该方法关于从位于基片上方的一喷嘴，喷洒一由百万赫频率带域超音波频率的音波所搅动的液体到该基片上。同时，当喷嘴扫过基片的上方时，基片以超过300RPM的转速自旋。在借由音波搅动液体之前，基片可于一刷子机台中刷洗。本发明的设备具有一臂，此臂与一喷嘴流体连通，该喷嘴具有一大于0°的角度位置θ。再者，在喷嘴的下方设有一基片自旋器。 | ||
| 搜索关键词： | 转速 百万 频率 超音波 清洗 | ||
【主权项】：
1、一种方法，包含：a)从一位于一基片上方的喷嘴，喷洒一由百万赫频率带域超音波频率的音波所搅动的液体到该基片上；b)与该液体的喷洒同时，该基片以超过300RPM的转速自旋；以及c)与该液体的喷洒同时，该喷嘴扫过该基片的上方。
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