“T·菲茨杰拉德”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果4个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于室盖冷却的方法和设备-CN202310318742.8在审
发明人： A·金蒂;A·法德尼斯;K·范德如里奥;T·菲茨杰拉德 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种用于半导体处理的反应器系统，例如用于化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)和其他沉积步骤，其利用具有两个或更多个反应室的反应器模块。反应器系统包括冷却系统的部件，以在包围包含反应室的壳体或容器的室盖上提供增强的温度均匀性。部分地，冷却系统适于利用对流传热，并且包括位于反应室喷淋头的外部部分之间的中心空间中的室盖中心的带翅片的散热器。此外，冷却系统包括风扇，该风扇定位成使其出口位于中心空间并位于带翅片的散热器上方，使得空气被导入中心空间并到散热器上。
用于冷却方法设备

[发明专利]用于电子封装的复合焊接TIM-CN200780032038.5有效
发明人： T·菲茨杰拉德;C·德佩克;F·华 -专利权人：英特尔公司
申请日： 2007-09-25 - 公布日： 2009-08-19 - 主分类号： B23K35/22 文献下载
摘要：一种方法包括提供熔融铟和熔融铝的混合物，并在降低所述混合物的温度的同时对其进行搅动，直到铝从液相变为固相并形成分布于所述熔融铟内的颗粒为止。在进一步降低所述混合物的温度的同时继续对混合物的充分搅动，从而使铝基本上悬浮于熔融的铟内，直到铟从液相变为固相为止。形成了一种金属组合物，其包括铟和悬浮于铟内的铝颗粒，所述铝颗粒基本不发生氧化。可以采用所述金属(焊接)组合物形成组件，所述组件包括集成电路(IC)器件，与所述IC器件相邻设置的至少第一热部件以及插置在所述IC器件和所述第一热部件之间并与所述IC器件和所述第一热部件中的每一个热耦合的焊接TIM。
用于电子封装复合焊接 tim