专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]可主动冷却的基板支撑件-CN200610121501.0有效
  • S·里昂;S·H·赵;W·A·巴格雷 - 应用材料股份有限公司
  • 2006-08-15 - 2007-02-28 - C03C17/00
  • 本发明是提供一种用于控制制程腔中基板温度的基板支撑组件以及方法,而使基板具有温度均一性为+/-5℃。基板支撑组件包括:包含有铝材料的热导体;位于热导体的表面,且将大面积玻璃基板支撑于其上方的基板支撑表面;嵌设于热导体内的一或多个加热组件;以及嵌设于热导体内,并位于一或多个加热组件周围的一或多个冷却通道。另外亦提供一包括本发明的基板支撑组件的一制程腔。
  • 主动冷却支撑

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