“R·尚特勒”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]在集成的多层薄膜电子器件中形成电极互连的方法-CN202280018489.8在审
发明人： D·凡克;R·尚特勒;H·维拉辛哈 -专利权人：联邦科学和工业研究组织
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L31/05 文献下载
摘要：在集成的多层薄膜电子器件中的至少两个相邻单元器件之间形成电极互连的方法，其包括：提供中间器件，所述中间器件包含：在薄膜衬底上的第一电极层，所述第一电极层包含第一图案化涂层，所述第一图案化涂层包括相邻单元器件的至少两个间隔开的第一电极区段；第一功能层，其包含在所述第一电极层上方的基本上连续的涂层；以及第二功能层，其包含在所述第一功能层上的第二图案化涂层，所述第二图案化涂层包含至少两个间隔开的功能区段，每个功能区段定位在所述第一功能层上以覆盖所述第一电极区段之一的一部分，从而限定相邻功能区段之间的间隙部分，所述间隙部分包括所述第一电极区段的一部分和所述第一功能层；以及在所述第二功能层上方施加第二电极层作为第三图案化涂层，所述第三图案化涂层包括相邻单元器件的至少两个间隔开的第二电极区段，每个第二电极区段被定位为覆盖所述第二功能层的至少一个功能区段和邻接间隙部分的一部分，所述邻接间隙部分包括相邻单元器件的第一电极区段的至少一部分，所述第三图案化涂层使用包括传导性物质和至少第一溶剂的溶液形成，其中所述第一功能层可溶于所述第一溶剂并且所述第二功能层在所述第一溶剂中具有低至零的溶解度，使得将所述第二电极层施加到所述间隙部分在相邻单元器件的所述第一电极和所述第二电极之间形成穿过所述第一功能层的至少一个导电路径。
集成多层薄膜电子器件形成电极互连方法

1
共 1 条