“R·K·普蒂”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于高真空应用的微波传输窗-CN202180074326.7在审
发明人： R·K·普蒂;P·阿加瓦尔;A·朱普迪 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文公开了一种用于使用微波压力窗口组件将微波传输到处理腔室中的设备。该微波压力窗组件可包括第一板，该第一板具有第一孔隙，该第一孔隙由用于第一压力密封件的第一凹部围绕；第二板，该第二板具有第二孔隙，该第二孔隙由用于第二压力密封件的第二凹部围绕；介电板，该介电板被配置为传输微波并且插置在该第一板与该第二板之间以及在该第一压力密封件与该第二压力密封件之间。该孔隙包括在该孔隙的第一竖直侧上的第一竖直台阶区域和在该等孔隙的与第一竖直侧相对的第二竖直侧上的第二竖直台阶区域。该第一竖直台阶区域和该第二竖直台阶区域的厚度可为包括介电板凹部的板的厚度的约50％。
用于真空应用微波传输

[发明专利]具有冷却能力的固态功率放大器-CN202180052296.X在审
发明人： R·K·普蒂;V·拉马钱德兰;A·朱普迪;L·W·高 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-08-26 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H05B6/68 文献下载
摘要：用于处理基板的方法和设备。例如，处理腔室可包括：功率源；放大器，所述放大器连接至功率源，所述放大器包括氮化镓(GaN)晶体管或砷化镓(GaAs)晶体管中的至少一者，并且所述放大器被配置成放大从功率源接收的输入信号的功率水平以加热处理容积中的基板；以及冷却板，所述冷却板被配置成接收冷却剂以在操作期间冷却放大器。
具有冷却能力固态功率放大器